石英坩堝內(nèi)表面噴涂設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種石英坩禍拉晶前對坩禍內(nèi)表面進(jìn)行處理的石英坩禍內(nèi)表面噴涂設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]石英坩禍?zhǔn)怯酶呒兪⑸敖?jīng)過高溫熔化形成的一種玻璃態(tài)器皿,在生產(chǎn)單晶硅的過程中是不可替代的容器。隨著太陽能行業(yè)的快速發(fā)展,對坩禍質(zhì)量要求也越來越高,尤其是對坩禍質(zhì)量的穩(wěn)定性要求。傳統(tǒng)生產(chǎn)過程中石英坩禍不經(jīng)過任何處理,直接投入生產(chǎn),這就對坩禍質(zhì)量要求特別嚴(yán)格,當(dāng)坩禍表面存在缺陷時只能當(dāng)廢品處理。目前,通常采用在石英坩禍內(nèi)表面進(jìn)行涂層處理的方式,提高坩禍質(zhì)量和成品率,同時也提高拉晶合格率,但現(xiàn)有噴涂設(shè)備都存在如下問題:涂層過程中溫度無檢測,涂層藥量一定但噴涂時間無控制,噴涂過程中易產(chǎn)生噴涂藥點,對于坩禍質(zhì)量穩(wěn)定性存在很大影響。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的是為了提供一種解決上述問題的使用可靠的石英坩禍內(nèi)表面噴涂設(shè)備,避免噴涂過程中產(chǎn)生藥點,保證坩禍質(zhì)量的穩(wěn)定性。
[0004]本實用新型的技術(shù)方案是:
[0005]一種石英坩禍內(nèi)表面噴涂設(shè)備,包括機架,其特征在于:所述機架底部固定有旋轉(zhuǎn)支撐架,所述旋轉(zhuǎn)支撐架上方利用回轉(zhuǎn)支撐安裝有環(huán)形轉(zhuǎn)盤,所述旋轉(zhuǎn)支撐架側(cè)面設(shè)有驅(qū)動電機,所述驅(qū)動電機的輸出軸與回轉(zhuǎn)支撐之間設(shè)有齒輪傳動機構(gòu),所述機架一側(cè)固定有氣缸,所述氣缸的缸桿頂端固定有支架,所述支架經(jīng)過旋轉(zhuǎn)支撐架由環(huán)形轉(zhuǎn)盤的環(huán)腔中穿出,所述支架上設(shè)有藥管且藥管末端安裝有噴嘴,所述噴嘴位于支架頂端,所述機架外側(cè)固定有面向機架內(nèi)側(cè)的紅外測溫儀和控制箱,所述控制箱的面板上設(shè)有數(shù)顯表,所述控制箱的頂部設(shè)有報警器。
[0006]上述的石英坩禍內(nèi)表面噴涂設(shè)備,所述機架一側(cè)設(shè)有噴涂機門。
[0007]上述的石英坩禍內(nèi)表面噴涂設(shè)備,所述支架由水平支桿和垂直支桿組成。
[0008]本實用新型的有益效果是:環(huán)形轉(zhuǎn)盤帶動倒置于其上的坩禍旋轉(zhuǎn)過程中,噴嘴對坩禍內(nèi)表面進(jìn)行噴涂作業(yè),在此過程中,紅外測溫儀一直進(jìn)行紅外測溫,同時數(shù)顯表對噴涂時間進(jìn)行記錄,達(dá)到設(shè)定時間后停止噴涂,在噴涂過程中同一只坩禍出現(xiàn)溫度差異較大時或噴涂時間超過規(guī)定時間時報警器報警,避免了坩禍在噴涂過程中因溫度和噴涂均勻度差異對坩禍造成質(zhì)量波動,避免了噴涂過程中噴涂藥點的產(chǎn)生,從而保證了坩禍內(nèi)表面質(zhì)量,間接提高了拉晶合格率,降低了生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0010]圖2是圖1的左視圖;
[0011]圖3是圖1的俯視圖。
[0012]圖中:1.機架、2.旋轉(zhuǎn)支撐架、3.驅(qū)動電機、4.齒輪傳動機構(gòu)、5.紅外測溫儀、6.控制箱、7.數(shù)顯表、8.報警器、9.坩禍、10.環(huán)形轉(zhuǎn)盤、11.回轉(zhuǎn)支撐、12.噴涂機門、13.噴嘴、14.支架、15.藥管、16.氣缸。
【具體實施方式】
[0013]如圖所示,該石英坩禍內(nèi)表面噴涂設(shè)備,包括機架1,所述機架1底部固定有旋轉(zhuǎn)支撐架2,所述旋轉(zhuǎn)支撐架2上方利用回轉(zhuǎn)支撐11安裝有環(huán)形轉(zhuǎn)盤10,所述旋轉(zhuǎn)支撐架2側(cè)面設(shè)有驅(qū)動電機3,所述驅(qū)動電機3的輸出軸與回轉(zhuǎn)支撐11之間設(shè)有齒輪傳動機構(gòu)4。所述機架1一側(cè)固定有氣缸16,所述氣缸16的缸桿頂端固定有支架14,所述支架14由水平支桿和垂直支桿組成,所述支架14的垂直支桿經(jīng)過旋轉(zhuǎn)支撐架2由環(huán)形轉(zhuǎn)盤10的環(huán)腔中穿出。所述支架14上設(shè)有藥管15且藥管15末端安裝有噴嘴13,所述噴嘴16位于支架14頂端。所述機架1外側(cè)固定有面向機架1內(nèi)側(cè)的紅外測溫儀5和控制箱6,所述控制箱6的面板上設(shè)有數(shù)顯表7,所述控制箱6的頂部設(shè)有報警器8。所述機架1 一側(cè)設(shè)有噴涂機門12。
[0014]工作時,坩禍9倒放在環(huán)形轉(zhuǎn)盤10上,紅外測溫儀5開始對坩禍9一點進(jìn)行測溫當(dāng)溫度達(dá)到規(guī)定溫度,驅(qū)動電機3得電轉(zhuǎn)動,驅(qū)動電機3通過齒輪傳動機構(gòu)4帶動回轉(zhuǎn)支撐11轉(zhuǎn)動,回轉(zhuǎn)支撐11帶動環(huán)形轉(zhuǎn)盤10轉(zhuǎn)動,氣缸16的缸桿勻速帶動支架14及噴嘴13上升下降,隔膜栗啟動藥液通過藥管15,到達(dá)噴嘴13對坩禍9內(nèi)表面進(jìn)行噴涂,同時數(shù)顯表進(jìn)行計時,當(dāng)噴涂時間超過規(guī)定時間2秒,報警器8報警,整個噴涂過程中紅外測溫儀5—直進(jìn)行紅外測溫,當(dāng)溫差超過20°C報警器8報警,正常情況下記錄噴涂溫度。
【主權(quán)項】
1.一種石英坩禍內(nèi)表面噴涂設(shè)備,包括機架,其特征在于:所述機架底部固定有旋轉(zhuǎn)支撐架,所述旋轉(zhuǎn)支撐架上方利用回轉(zhuǎn)支撐安裝有環(huán)形轉(zhuǎn)盤,所述旋轉(zhuǎn)支撐架側(cè)面設(shè)有驅(qū)動電機,所述驅(qū)動電機的輸出軸與回轉(zhuǎn)支撐之間設(shè)有齒輪傳動機構(gòu),所述機架一側(cè)固定有氣缸,所述氣缸的缸桿頂端固定有支架,所述支架經(jīng)過旋轉(zhuǎn)支撐架由環(huán)形轉(zhuǎn)盤的環(huán)腔中穿出,所述支架上設(shè)有藥管且藥管末端安裝有噴嘴,所述噴嘴位于支架頂端,所述機架外側(cè)固定有面向機架內(nèi)側(cè)的紅外測溫儀和控制箱,所述控制箱的面板上設(shè)有數(shù)顯表,所述控制箱的頂部設(shè)有報警器。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩禍內(nèi)表面噴涂設(shè)備,其特征在于:所述機架一側(cè)設(shè)有噴涂機門。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩禍內(nèi)表面噴涂設(shè)備,其特征在于:所述支架由水平支桿和垂直支桿組成。
【專利摘要】本實用新型涉及一種石英坩堝內(nèi)表面噴涂設(shè)備,包括機架,其特征在于:所述機架底部固定有旋轉(zhuǎn)支撐架,所述旋轉(zhuǎn)支撐架上方利用回轉(zhuǎn)支撐安裝有環(huán)形轉(zhuǎn)盤,所述旋轉(zhuǎn)支撐架側(cè)面設(shè)有驅(qū)動電機,所述驅(qū)動電機的輸出軸與回轉(zhuǎn)支撐之間設(shè)有齒輪傳動機構(gòu),所述機架一側(cè)固定有氣缸,所述氣缸的缸桿頂端固定有支架,所述支架經(jīng)過旋轉(zhuǎn)支撐架由環(huán)形轉(zhuǎn)盤的環(huán)腔中穿出,所述支架上設(shè)有藥管且藥管末端安裝有噴嘴,所述噴嘴位于支架頂端,所述機架外側(cè)固定有面向機架內(nèi)側(cè)的紅外測溫儀和控制箱,所述控制箱的面板上設(shè)有數(shù)顯表,所述控制箱的頂部設(shè)有報警器。使用可靠,避免了噴涂過程中產(chǎn)生藥點,保證了坩堝質(zhì)量的穩(wěn)定性。
【IPC分類】C03C17/00
【公開號】CN205115288
【申請?zhí)枴緾N201520951265
【發(fā)明人】王震, 侯建
【申請人】錦州佑鑫石英科技有限公司
【公開日】2016年3月30日
【申請日】2015年11月25日