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一種金剛石線切割液及其制備方法

文檔序號(hào):5125218閱讀:381來源:國知局
專利名稱:一種金剛石線切割液及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于光伏硅塊切割領(lǐng)域,尤其涉及一種金剛石線切割液及其制備方法。
背景技術(shù)
硅晶片廣泛應(yīng)用在光伏太陽能、液晶顯示和半導(dǎo)體領(lǐng)域,因此采用切割硅塊制得硅片的技術(shù)也得以發(fā)展。目前主要采用游離磨料砂漿多線切割技術(shù)來切割硅塊,該技術(shù)將磨料和切割液混合配制成砂漿,利用并排的鋼線在運(yùn)動(dòng)過程中將砂漿帶入硅塊切割縫隙中,通過砂漿中磨料的切屑滾磨作用將硅塊加工成硅片。但是該技術(shù)砂漿量耗量很大,切割成本較高。
近年來已有較多硅片制造廠家采用固定磨料多線切割技術(shù)來切割硅塊,主要為金剛石線硅塊切割技木。該技術(shù)將細(xì)小的金剛石粉末固定在鋼線上切割硅塊而無需磨料,但仍需切割液,起到冷卻、潤滑和分散切屑的作用。目前,此類切割液還存在以下缺點(diǎn)(I)其抗磨潤滑性能不佳,導(dǎo)致金剛石粉末磨損嚴(yán)重而消耗量較大;(2)其清洗效果較差,切割結(jié)束后硅片清洗難度較大,易造成硅片清洗不良;(3)其大部分為進(jìn)ロ產(chǎn)品,成本較高不利于大規(guī)模推廣金剛石線切割技木。因此,尋求ー種具有優(yōu)良性能且生產(chǎn)成本較低的金剛石線切割液變得十分必要。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于此,本發(fā)明g在提供一種金剛石線切割液,其抗磨潤滑性較好,易清除,冷卻性能良好,成本低從而有利于大規(guī)模推廣金剛石線切割技木。本發(fā)明還公開了該金剛石線切割液的制備方法。為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種金剛石線切割液,所述金剛石線切割液中的各組分及其質(zhì)量百分比為分散劑20 50%,去離子水30 50%,抗磨劑10 30%,PH調(diào)節(jié)劑O. 02 O. 05%和消泡劑O. 03 O. 06%。優(yōu)選地,分散劑為聚こニ醇,聚丙烯酸,聚甲基丙烯酸銨中的ー種或多種。優(yōu)選地,聚こニ醇的數(shù)均分子量為10(Γ600。聚こニ醇、聚丙烯酸和聚甲基丙烯酸銨具有良好的水溶性,能與許多有機(jī)物組份有良好的相溶性,此外還具有優(yōu)良的潤滑性、保濕性和分散性。添加聚こニ醇,聚丙烯酸,聚甲基丙烯酸銨,可以提高金剛石切割液對(duì)硅粉切屑的分散性,同時(shí)增強(qiáng)金剛石線切割液的清洗能力。優(yōu)選地,抗磨劑為苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑和含硫氧官能團(tuán)的砜中的ー種或多種。優(yōu)選地,含硫氧官能團(tuán)的砜為環(huán)丁砜。苯并三氮唑,甲基苯并三氮唑,含硫氧官能團(tuán)的砜是優(yōu)良的抗磨劑,其抗磨性能遠(yuǎn)高于一般的潤滑剤。添加苯并三氮唑,甲基苯并三氮唑,含硫氧官能團(tuán)的砜可顯著提高金剛石線切割液的潤滑性和耐磨性,減小金剛石粉末的磨損,從而降低金剛石粉末的成本。
優(yōu)選地,PH調(diào)節(jié)劑為聚丙烯酸、檸檬酸、草酸、蘋果酸、醋酸、乳酸、鹽酸和磷酸中的ー種或多種。優(yōu)選地,PH調(diào)節(jié)劑的摩爾濃度為(λ ΟΟΓΟ. 02mol/L。聚丙烯酸、檸檬酸、草酸、蘋果酸、醋酸、乳酸、鹽酸和磷酸可調(diào)節(jié)金剛石線切割液的PH值為弱酸性,可以抑制金剛石線切割液與硅粉切屑的反應(yīng),提高金剛石線切割液的穩(wěn)定性。優(yōu)選地,消泡劑為聚氧こ烯聚氧丙醇胺醚,丙ニ醇聚氧こ烯聚氧丙烯醚和ニ甲基硅油中的ー種或多種。聚氧こ烯聚氧丙醇胺醚,丙ニ醇聚氧こ烯聚氧丙烯醚和ニ甲基硅油可有效抑制切 割過程的起泡性,提高切割過程的穩(wěn)定性。去離子水可提高金剛石線切割液的冷卻性能,同時(shí)也可降低金剛石線切割液的成本。相應(yīng)地,本發(fā)明提供了ー種上述金剛石線切割液的制備方法,如下在連續(xù)攪拌的去離子水中加入PH調(diào)節(jié)劑、分散劑、抗磨劑和消泡劑,繼續(xù)攪拌2^5h得到所述金剛石線切割液。其中,所述金剛石線切割液的各組分及質(zhì)量百分比為分散劑20 50%,去離子水30 50%,抗磨劑10 30%,PH調(diào)節(jié)劑O. 02 O. 05%和消泡劑O. 03 O. 06%。本發(fā)明提供的金剛石線切割液,通過添加抗磨劑,可減小金剛石粉末的磨損,從而降低金剛石粉末的用量;通過添加分散劑,可增強(qiáng)金剛石線切割液的清洗能力,能減小硅片清洗不良的概率,提高硅片的成品率;通過添加去離子水可提高金剛石線切割液的冷卻性能,另ー方面,由于去離子水所占質(zhì)量百分比例較大,也降低了金剛石線切割液的生產(chǎn)成本,有利于大規(guī)模推廣金剛石線切割技術(shù)。
具體實(shí)施例方式下面對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。實(shí)施例I
取聚こニ醇150kg,所述聚こニ醇質(zhì)均分子量為200,環(huán)丁砜59. 85kg,去離子水90kg,聚氧こ烯聚氧丙醇胺醚100g,檸檬酸50g。在連續(xù)攪拌的去離子水中依次加入所述聚こニ醇、檸檬酸、環(huán)丁砜和聚氧こ烯聚氧丙醇胺醚。攪拌2h后得到300kg金剛石線切割液。本實(shí)施例制得的金剛石線切割液經(jīng)檢測各項(xiàng)指標(biāo)為密度I.114g/cm3電導(dǎo)(25°C ) :15. 7 μ s/cm粘度(25°C):14. 5cppH :4. 3下面結(jié)合具體的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),對(duì)比分析本發(fā)明實(shí)施例的有益效果。在相同切割參數(shù)下,將本發(fā)明實(shí)施例制得的金剛石線切割液和市售切割液,分別進(jìn)行5刀平行硅片切割的對(duì)比實(shí)驗(yàn)。其中,市售切割液為日本三洋化成エ業(yè)株式會(huì)社,histat hd 一 29型號(hào)產(chǎn)品,其主要組分為丙ニ醇。表一為本實(shí)施例制得的金剛石線切割液和市售切割液,分別進(jìn)行5刀平行硅片切割的對(duì)比實(shí)驗(yàn),所得污片率的對(duì)比數(shù)據(jù)。表一污片率的對(duì)比數(shù)據(jù)
權(quán)利要求
1.一種金剛石線切割液,用于光伏硅塊切割領(lǐng)域,其特征在于,所述金剛石線切割液中的各組分及其質(zhì)量百分比為分散劑20 50%,去離子水30 50%,抗磨劑10 30%,PH調(diào)節(jié)劑O. 02 O. 05%和消泡劑O. 03 O. 06%ο
2.如權(quán)利要求I所述的ー種金剛石線切割液,其特征在于,所述分散劑為聚こニ醇、聚丙烯酸和聚甲基丙烯酸銨中的ー種或多種,所述聚こニ醇的數(shù)均分子量為10(Γ600。
3.如權(quán)利要求I所述的ー種金剛石線切割液,其特征在于,所述抗磨劑為苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑和含硫氧官能團(tuán)的砜中的ー種或多種。
4.如權(quán)利要求3所述的ー種金剛石線切割液,其特征在于,所述含硫氧官能團(tuán)的砜為環(huán)丁砜。
5.如權(quán)利要求I所述的ー種金剛石線切割液,其特征在于,所述PH調(diào)節(jié)劑為聚丙烯酸、檸檬酸、草酸、蘋果酸、醋酸、乳酸、鹽酸和磷酸中的ー種或多種。
6.如權(quán)利要求I所述的ー種金剛石線切割液,其特征在于,所述PH調(diào)節(jié)劑的摩爾濃度為 O.001 O. 02mol/L。
7.如權(quán)利要求I所述的ー種金剛石線切割液,其特征在于,所述消泡劑為聚氧こ烯聚氧丙醇胺醚,丙ニ醇聚氧こ烯聚氧丙烯醚和ニ甲基硅油中的ー種或多種。
8.如權(quán)利要求f7任一項(xiàng)所述的金剛石線切割液的制備方法,其特征在于,在連續(xù)攪拌的所述去離子水中加入所述PH調(diào)節(jié)劑、所述分散劑、所述抗磨劑和所述消泡劑,繼續(xù)攪拌2 5h得到所述金剛石線切割液。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種金剛石線切割液,用于光伏硅塊切割領(lǐng)域。所述金剛石線切割液中的各組分及其質(zhì)量百分比為分散劑20~50%,去離子水30~50%,抗磨劑10~30%,PH調(diào)節(jié)劑0.02~0.05%和消泡劑0.03~0.06%。該金剛石線切割液具有良好的抗磨潤滑性,可以減少金剛石粉末用量。同時(shí)該金剛石線切割液易清除,能減小硅片清洗不良的概率。另外該金剛石線切割液冷卻性能良好,成本也較低,有利于大規(guī)模推廣金剛石線切割技術(shù)。本發(fā)明還公開了該金剛石線切割液的制備方法。
文檔編號(hào)C10N30/06GK102851108SQ20121027426
公開日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2012年8月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月3日
發(fā)明者劉寧, 李建, 章金兵, 夏軍 申請(qǐng)人:江西賽維Ldk太陽能高科技有限公司
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