本發(fā)明涉及物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、在專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了一種作為物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)的化學(xué)傳感器裝置，其基于物質(zhì)相對(duì)于感應(yīng)膜吸附或脫離時(shí)產(chǎn)生的共振頻率的變化量來(lái)檢測(cè)物質(zhì)。該化學(xué)傳感器裝置具備設(shè)有分別對(duì)不同的物質(zhì)示出脫附吸附特性的感應(yīng)膜的多個(gè)振子。各振子具備壓電基板，通過(guò)施加交流電壓使壓電基板變形而激振。若物質(zhì)吸附于感應(yīng)膜或自感應(yīng)膜脫離，則各振子的共振頻率發(fā)生變化。由此能夠進(jìn)行物質(zhì)的檢測(cè)。

2、若使用該化學(xué)傳感器裝置，則能夠檢測(cè)由多種物質(zhì)構(gòu)成的氣味。基于各感應(yīng)膜的反應(yīng)值的圖案即構(gòu)成氣味的多個(gè)物質(zhì)的構(gòu)成比來(lái)確定氣體中含有的氣味。

3、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)

5、專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2009-204584號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的問(wèn)題

2、如上述那樣，氣體的氣味由氣體中含有的多種物質(zhì)構(gòu)成。因此，為了準(zhǔn)確地確定氣體的氣味，需要分別檢測(cè)對(duì)應(yīng)的物質(zhì)的多個(gè)物質(zhì)傳感器。在該情況下，需要配置多個(gè)物質(zhì)傳感器的區(qū)域，存在檢測(cè)的物質(zhì)越多則該區(qū)域的面積越大的不良情況。

3、本發(fā)明是在上述實(shí)際情況下完成的，其目的在于提供一種能夠減小為了配置多個(gè)物質(zhì)傳感器所需要的區(qū)域的面積的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)。

4、用于解決問(wèn)題的方案

5、為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)具備：腔室，其以使收納于內(nèi)部的氣體的狀態(tài)成為穩(wěn)定狀態(tài)的方式限制所述氣體的流入；物質(zhì)傳感器，其檢測(cè)收納于所述腔室的所述氣體中含有的物質(zhì)；以及供給部，其向所述腔室供給所述氣體，多個(gè)所述物質(zhì)傳感器沿著自所述腔室的流入口朝向排出口的所述氣體的流動(dòng)方向排列。

6、在該情況下，也可以是，具有連通孔的基板以所述連通孔連通的方式層疊而形成所述腔室，層疊的所述基板中的多個(gè)所述基板是具有將作為所述連通孔的第1連通孔的局部堵塞的梁的第1基板，所述物質(zhì)傳感器基于由與所述物質(zhì)的反應(yīng)產(chǎn)生的所述梁的振動(dòng)頻率的變化來(lái)檢測(cè)所述物質(zhì)。

7、也可以是，層疊的所述基板中的除所述第1基板以外的多個(gè)所述基板是形成有作為所述連通孔的第2連通孔的第2基板，所述第2基板和所述第1基板依次交替地沿所述流動(dòng)方向?qū)盈B。

8、也可以是，在所述梁形成有與所述物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)的物質(zhì)反應(yīng)膜，所述第2連通孔形成為噴嘴狀以使所述氣體朝向所述物質(zhì)反應(yīng)膜流出。

9、也可以是，沿所述流動(dòng)方向觀察時(shí)的所述梁的朝向在沿所述流動(dòng)方向相鄰的所述梁彼此之間不同。

10、也可以是，沿所述流動(dòng)方向觀察的所述梁的形狀相對(duì)于圓柱狀的所述第1連通孔的中心軸線為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱，關(guān)于沿所述流動(dòng)方向相鄰的所述梁彼此，沿所述流動(dòng)方向觀察時(shí)的一個(gè)所述梁的朝向相對(duì)于另一個(gè)所述梁的朝向處于以所述中心軸線為中心進(jìn)行了旋轉(zhuǎn)的朝向。

11、也可以是，所述梁沿所述流動(dòng)方向觀察形成為十字狀，關(guān)于沿所述流動(dòng)方向相鄰的所述梁彼此，一個(gè)所述梁的中心線和另一個(gè)所述梁的中心線在所述中心軸線處相交的角度為45度。

12、也可以是，所述腔室并列地形成有多個(gè)。

13、也可以是，所述物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)具備將流入多個(gè)所述腔室的各個(gè)腔室的所述氣體的流動(dòng)抑制為均等地輸送的整流部。

14、也可以是，所述整流部對(duì)所述氣體的流動(dòng)進(jìn)行整流，以使流入多個(gè)所述腔室的各個(gè)腔室的所述氣體的流量和流速中的至少一者變得均勻。

15、也可以是，多個(gè)所述腔室分別形成為形狀和大小相同。

16、也可以是，所述供給部為泵，且設(shè)于所述流入口的上游和所述排出口的下游中的至少一者。

17、也可以是，所述供給部為泵，且設(shè)于所述流入口的上游和所述排出口的下游這兩者。

18、也可以是，在排列于所述腔室內(nèi)的多個(gè)所述物質(zhì)傳感器中包括檢測(cè)相同的物質(zhì)的物質(zhì)傳感器。

19、也可以是，在排列于所述腔室內(nèi)的多個(gè)所述物質(zhì)傳感器中包括檢測(cè)各不相同的物質(zhì)的物質(zhì)傳感器。

20、也可以是，所述物質(zhì)傳感器基于隨著朝向所述流動(dòng)方向而增大的修正值來(lái)修正檢測(cè)值。

21、發(fā)明的效果

22、根據(jù)本發(fā)明，多個(gè)物質(zhì)傳感器沿著自腔室的流入口朝向排出口的氣體的流動(dòng)方向排列。因此能夠減小為了配置多個(gè)物質(zhì)傳感器所需要的區(qū)域的面積。

技術(shù)特征：

1.一種物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求2～4中任一項(xiàng)所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

11.根據(jù)權(quán)利要求8～10中任一項(xiàng)所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

12.根據(jù)權(quán)利要求1～11中任一項(xiàng)所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

13.根據(jù)權(quán)利要求1～11中任一項(xiàng)所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

14.根據(jù)權(quán)利要求1～13中任一項(xiàng)所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

15.根據(jù)權(quán)利要求1～13中任一項(xiàng)所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

16.根據(jù)權(quán)利要求1～15中任一項(xiàng)所述的物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，其中，

技術(shù)總結(jié)
物質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)(1)具備腔室(2)、物質(zhì)傳感器(3)和供給部(4)。腔室(2)以使收納于內(nèi)部的氣體(F)的狀態(tài)成為穩(wěn)定狀態(tài)的方式限制氣體(F)的流入。物質(zhì)傳感器(3)檢測(cè)收納于腔室(2)的氣體(F)中含有的物質(zhì)。供給部(4)向腔室(2)供給氣體(F)。檢測(cè)的物質(zhì)各不相同的多個(gè)物質(zhì)傳感器(3)沿著自腔室(2)的流入口(2a)朝向排出口(2b)的氣體(F)的流動(dòng)方向排列。

技術(shù)研發(fā)人員：緒方健治,黑木省吾
受保護(hù)的技術(shù)使用者：愛(ài)沛股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21