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半導(dǎo)體裝置以及半導(dǎo)體模塊的制作方法

文檔序號:39725794發(fā)布日期:2024-10-22 13:24閱讀:8來源:國知局
半導(dǎo)體裝置以及半導(dǎo)體模塊的制作方法

本公開涉及半導(dǎo)體裝置以及半導(dǎo)體模塊。


背景技術(shù):

1、以往,公知搭載有多個具有開關(guān)功能的半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體模塊。該半導(dǎo)體模塊主要用于電力轉(zhuǎn)換用。在專利文獻1中公開了這樣的半導(dǎo)體模塊的一例。

2、搭載于專利文獻1所公開的半導(dǎo)體模塊的多個半導(dǎo)體元件的每個中,源極電極和漏極電極相互位于相反側(cè)。上面板電極與源極電極導(dǎo)電接合。漏極電極圖案與漏極電極導(dǎo)電接合。半導(dǎo)體元件被上面板電極與漏極電極圖案所夾。通過采用本結(jié)構(gòu),能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體模塊的小型化,并且降低該半導(dǎo)體模塊中的寄生電阻。在此,施加于多個半導(dǎo)體元件的每個的柵極電壓根據(jù)從信號端子至柵極電極的導(dǎo)電路徑的長度而變動。因此,如專利文獻1所公開的半導(dǎo)體模塊那樣,在信號端子為一個的情況下,有時在施加于多個半導(dǎo)體元件的每個的柵極電壓產(chǎn)生偏差。若在柵極電壓產(chǎn)生偏差,則有可能在多個半導(dǎo)體元件的開關(guān)動作上產(chǎn)生延遲。

3、現(xiàn)有技術(shù)文獻

4、專利文獻

5、專利文獻1:日本特開2013-258387號公報


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明所要解決的課題

2、本公開的一個課題是提供一種與以往相比實施了改良的半導(dǎo)體裝置以及半導(dǎo)體模塊。尤其是,本公開的一個課題是,鑒于上述的事情,提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)施加于多個半導(dǎo)體元件的每個的柵極電壓的均勻化的半導(dǎo)體裝置以及半導(dǎo)體模塊。

3、用于解決課題的方案

4、由本公開的第一方案提供的半導(dǎo)體裝置具備:第一半導(dǎo)體元件,其具有第一電極、以及在第一方向上位于與上述第一電極相反的一側(cè)的第二電極及第一柵極電極;第二半導(dǎo)體元件,其具有在上述第一方向上以上述第一半導(dǎo)體元件為基準(zhǔn)位于與上述第一電極相同的一側(cè)的第三電極、以及在上述第一方向上位于與上述第三電極相反的一側(cè)的第四電極及第二柵極電極,并且在與上述第一方向正交的第二方向上位于遠(yuǎn)離上述第一半導(dǎo)體元件的位置;封固樹脂,其覆蓋上述第一半導(dǎo)體元件以及上述第二半導(dǎo)體元件各自的至少一部分;第一信號端子,其從上述封固樹脂向外部露出;以及第一信號配線,其使上述第一柵極電極以及上述第二柵極電極與上述第一信號端子導(dǎo)通,在上述第一方向上觀察時,上述第一柵極電極具有第一中心,在上述第一方向上觀察時,上述第二柵極電極具有第二中心,在上述第一方向上觀察時,上述第一信號端子具有第三中心,若將連結(jié)上述第一中心與上述第三中心的第一直線長設(shè)為l1、將連結(jié)上述第二中心與上述第三中心的第二直線長設(shè)為l2、將從上述第一中心經(jīng)由上述第一信號配線到達上述第三中心的第一路徑長設(shè)為r1、將從上述第二中心經(jīng)由上述第一信號配線到達上述第三中心的第二路徑長設(shè)為r2,則滿足r2/r1比l2/l1更接近1的關(guān)系。

5、由本公開的第二方案提供的半導(dǎo)體模塊具備:導(dǎo)電部件;以及由本公開的第一方案提供的半導(dǎo)體裝置中、上述第一信號端子在上述第一方向上以上述第一半導(dǎo)體元件為基準(zhǔn)位于與上述第一電極相反的一側(cè)的裝置,上述半導(dǎo)體裝置與上述導(dǎo)電部件導(dǎo)電接合,上述第一電極以及上述第三電極在上述第一方向上位于上述導(dǎo)電部件與上述第一信號端子之間。

6、由本公開的第三方案提供的半導(dǎo)體模塊具備:導(dǎo)電部件;以及由本公開的第一方案提供的半導(dǎo)體裝置中、上述第一信號端子在上述第一方向上以上述第一半導(dǎo)體元件為基準(zhǔn)位于與上述第二電極相反的一側(cè)的裝置,上述第二電極以及上述第四電極在上述第一方向上位于上述導(dǎo)電部件與上述第一信號端子之間。

7、發(fā)明效果

8、根據(jù)上述結(jié)構(gòu),在半導(dǎo)體裝置以及半導(dǎo)體模塊中,能夠?qū)崿F(xiàn)施加于多個半導(dǎo)體元件的每個的柵極電壓的均勻化。

9、本公開的其他特征以及優(yōu)點通過基于附圖以下進行的詳細(xì)的說明將變得更加清楚。



技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,具備:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

13.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

14.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

15.根據(jù)權(quán)利要求9至14中任一項所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還具備:

16.一種半導(dǎo)體模塊,其特征在于,具備:

17.一種半導(dǎo)體模塊,其特征在于,具備:


技術(shù)總結(jié)
半導(dǎo)體裝置具備:具有第一柵極電極的第一半導(dǎo)體元件;具有第二柵極電極的第二半導(dǎo)體元件;封固樹脂;具有第三中心的第一信號端子;以及第一信號配線。將連結(jié)上述第一柵極電極的第一中心與上述第三中心的直線長設(shè)為第一直線長L1。將連結(jié)上述第二柵極電極的第二中心與上述第三中心的直線長設(shè)為第二直線長L2。將從上述第一中心經(jīng)由上述第一信號配線到達上述第三中心的路徑長設(shè)為第一路徑長R1。將從上述第二中心經(jīng)由上述第一信號配線到達上述第三中心的路徑長設(shè)為第二路徑長R2。在上述半導(dǎo)體裝置中,滿足R2/R1比L2/L1更接近1的關(guān)系。

技術(shù)研發(fā)人員:富士和則
受保護的技術(shù)使用者:羅姆股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/10/21
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