技術(shù)編號(hào)：39729555
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)的領(lǐng)域，尤其涉及一種運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及加工設(shè)備。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體技術(shù)的領(lǐng)域中，精密加工設(shè)備主要有視覺檢測(cè)設(shè)備、半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備等，半導(dǎo)體行業(yè)不斷發(fā)展，對(duì)這類高精度的精密設(shè)備需求量逐年增加，對(duì)精密加工設(shè)備的精度要求越來越高。、目前，精密加工設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)主要包括雙導(dǎo)軌、安裝在雙導(dǎo)軌上的滑塊、以及電機(jī)，通過雙導(dǎo)軌和滑塊的配合實(shí)現(xiàn)載臺(tái)在水平方向的雙向移動(dòng)，通過電機(jī)實(shí)現(xiàn)載臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)?，F(xiàn)有運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的雙導(dǎo)軌的加工和安裝容易出現(xiàn)誤差，導(dǎo)致載臺(tái)運(yùn)動(dòng)精度較低，嚴(yán)重影響晶圓等半導(dǎo)體的加工精度和質(zhì)量...
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