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一種MO源瓶開關(guān)結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:39729651

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本發(fā)明涉及開關(guān)結(jié)構(gòu),更具體地說,特別涉及一種mo源瓶開關(guān)結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、隨著mocvd?設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)的廣泛應(yīng)用,作為配套設(shè)施之一的mo源瓶溫控裝置也越來越重要。mo源瓶是mo(metalorganic?source)源的專用包裝容器。、mocvd已經(jīng)生產(chǎn)半導(dǎo)體材料和器件的關(guān)鍵設(shè)備和工藝,在開啟mo源瓶時,源瓶內(nèi)外的壓力不同,容易造成原料液體倒灌到流量控制器或者壓強(qiáng)控制器里面去,這樣就容易損壞流量控制器和壓強(qiáng)控制器,這兩種儀器只能接觸氣體介質(zhì)而不是液體介質(zhì),一旦接觸到液體介質(zhì)就容易損壞流量...
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