技術(shù)編號：9218516
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。多晶硅晶粒大小的檢測是晶化工藝的重要檢測項目，而檢測中使用的多晶硅樣品的通常需要通過刻蝕的方法來刻蝕出明顯的晶界，然后利用電子掃描顯微鏡(SEM)觀察樣品的晶粒大小。晶界刻蝕的好壞會嚴重影響檢測的結(jié)果，使工藝結(jié)果的判斷產(chǎn)生偏差。而晶界刻蝕對于時間的把控比較嚴格，根據(jù)不同的樣品狀況和溶液配比，有不同的時間限制，通?？刂圃趲酌氲綆资胫g。目前通常使用鑷子夾住樣品放入溶液中進行浸泡，手動控制時間，但這種做法易出現(xiàn)問題樣品通常較小，不易拿捏，容易出現(xiàn)掉落至盛放溶...
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