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一種新型導(dǎo)流筒提升裝置的制作方法

文檔序號(hào):11088282閱讀:688來源:國(guó)知局
一種新型導(dǎo)流筒提升裝置的制造方法

本實(shí)用新型涉及單晶棒加工技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種新型導(dǎo)流筒提升裝置。



背景技術(shù):

在現(xiàn)行的單晶爐設(shè)備上,導(dǎo)流筒提升裝置只能夠?qū)崿F(xiàn)導(dǎo)流筒的提升和下降,并不能夠進(jìn)行左右移動(dòng),無法在單晶爐運(yùn)行后調(diào)整導(dǎo)流筒的對(duì)中。并且在與導(dǎo)流筒的連接上使用的是硬連接,參加附圖1所示,硬連接在單晶爐上是單側(cè)設(shè)置,主要包括提升絲杠40,提升絲杠40由提升電機(jī)71控制升降,與提升絲杠40連接的是鋼管72,鋼管72連接導(dǎo)流筒掛鉤40帶動(dòng)導(dǎo)流筒30的升降,實(shí)現(xiàn)導(dǎo)流筒的上下位移。在此過程中,提升電機(jī)71的震動(dòng)會(huì)直接傳到給導(dǎo)流筒,并且在移動(dòng)過程中也不能保證百分百的控制導(dǎo)流筒30的中心與爐體中心60重合,影響導(dǎo)流筒的使用壽命的同時(shí),對(duì)拉晶質(zhì)量也有一定影響。

所以,如何提供一種新型導(dǎo)流筒提升裝置,解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題,是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

有鑒于此,本實(shí)用新型提供了一種新型導(dǎo)流筒提升裝置,解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷,具體方案如下:

一種新型導(dǎo)流筒提升裝置,包括導(dǎo)流筒、 軟連接機(jī)構(gòu),以及連接所述導(dǎo)流筒和所述軟連接機(jī)構(gòu)的導(dǎo)流筒掛鉤,所述軟連接機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在導(dǎo)流筒兩側(cè)的兩個(gè)軟連接段、兩個(gè)電動(dòng)聯(lián)動(dòng)絲杠,兩臺(tái)同步控制所述電動(dòng)聯(lián)動(dòng)絲杠上下運(yùn)動(dòng)的升降電機(jī),所述軟連接段一端與所述電動(dòng)聯(lián)動(dòng)絲杠連接,所述軟連接段的另一端與所述導(dǎo)流筒掛鉤連接。

具體的,所述軟連接段為鋼絲繩。

進(jìn)一步的,所述兩個(gè)電動(dòng)聯(lián)動(dòng)絲杠還與兩臺(tái)同步控制所述電動(dòng)聯(lián)動(dòng)絲杠左右移動(dòng)的平移電機(jī)連接。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有的優(yōu)點(diǎn)是:1、有效避免硬連接帶來的震動(dòng),提高導(dǎo)流筒的使用壽命。2、更好的實(shí)現(xiàn)導(dǎo)流筒中心和爐體中心的對(duì)中,提升了拉晶質(zhì)量。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中導(dǎo)流筒提升裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2本實(shí)用新型提供的導(dǎo)流筒提升裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中: 10、爐蓋 20、熱場(chǎng)石墨大蓋 30、導(dǎo)流筒 40、導(dǎo)流筒掛鉤 50、軟連接段 51、電機(jī)聯(lián)動(dòng)絲杠 52、升降電機(jī) 53、平移電機(jī) 60、爐體中心 70、提升絲杠 71、提升電機(jī) 72、鋼管硬連接。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

相關(guān)術(shù)語(yǔ)解釋

導(dǎo)流筒:?jiǎn)尉t內(nèi)部的熱場(chǎng)部件,作用隔熱和導(dǎo)氣,要求在熱場(chǎng)中居中放置。

熱場(chǎng)石墨大蓋:導(dǎo)流筒下降后,支撐導(dǎo)流筒作用。

參見附圖2所示,為本實(shí)用請(qǐng)求保護(hù)一種新型導(dǎo)流筒提升裝置,包括導(dǎo)流筒30、 軟連接機(jī)構(gòu),以及連接所述導(dǎo)流筒30和所述軟連接機(jī)構(gòu)的導(dǎo)流筒掛鉤40,所述軟連接機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在導(dǎo)流筒兩側(cè)的兩個(gè)軟連接段50、兩個(gè)電動(dòng)聯(lián)動(dòng)絲杠51,兩臺(tái)同步控制所述電動(dòng)聯(lián)動(dòng)絲杠51上下運(yùn)動(dòng)的升降電機(jī)52,所述軟連接段50一端與所述電動(dòng)聯(lián)動(dòng)絲杠51連接,所述軟連接段50的另一端與所述導(dǎo)流筒掛鉤40連接。

導(dǎo)流筒30通過左右對(duì)稱設(shè)置的兩個(gè)軟連接段50懸掛在電動(dòng)聯(lián)動(dòng)絲杠51上,通過軟連接段50的牽引,以及兩個(gè)同步控制的升降電機(jī)52的同步控制,可以達(dá)到平穩(wěn)升降的目的,可以有效降低提升過程中的震動(dòng),有效延長(zhǎng)了導(dǎo)流筒30的使用壽命。

具體的,所述軟連接段50為鋼絲繩。

進(jìn)一步的,所述兩個(gè)電動(dòng)聯(lián)動(dòng)絲杠51還與兩臺(tái)同步控制所述電動(dòng)聯(lián)動(dòng)絲杠51左右移動(dòng)的平移電機(jī)53連接。

設(shè)置兩臺(tái)同步的平移電機(jī)53可以準(zhǔn)確的實(shí)習(xí)導(dǎo)流筒的中線與爐體中心線60的對(duì)中,可以進(jìn)一步完善設(shè)備運(yùn)行中的氣流運(yùn)行,對(duì)于提升拉晶質(zhì)量具有重要的作用。

作為本實(shí)施例的進(jìn)一步優(yōu)化,兩臺(tái)升降電機(jī)52、兩臺(tái)平移電機(jī)53可以與設(shè)備的主動(dòng)系統(tǒng)連接,進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)導(dǎo)流筒提升的自動(dòng)準(zhǔn)確控制。

上面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行了描述,但是本實(shí)用新型并不局限于上述的具體實(shí)施方式,上述的具體實(shí)施方式僅僅是示意性的,而不是限制性的,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的啟示下,在不脫離本實(shí)用新型宗旨和權(quán)利要求所保護(hù)的范圍情況下,還可做出很多形式,這些均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)之內(nèi)。

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