一種晶體生長(zhǎng)爐籽晶桿系統(tǒng)的多點(diǎn)可活動(dòng)連接與穩(wěn)固裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于晶體生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶體生長(zhǎng)爐籽晶桿系統(tǒng)的多點(diǎn)可活動(dòng)連接與穩(wěn)固裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前晶體生長(zhǎng)爐，尤其上稱(chēng)重提拉法晶體生長(zhǎng)爐都離不開(kāi)一個(gè)重要系統(tǒng)一籽晶桿系統(tǒng)，如圖所示:從上端稱(chēng)重頭的上端開(kāi)始到籽晶桿下部末端的多段材料連接而成，為籽晶桿系統(tǒng)，至少包含稱(chēng)重頭、籽晶桿、籽晶、生長(zhǎng)的晶體等多個(gè)部分。籽晶桿系統(tǒng)上端固定，下端懸掛籽晶和晶體。晶體生長(zhǎng)爐中籽晶桿系統(tǒng)在晶體生長(zhǎng)的過(guò)程中存在兩個(gè)問(wèn)題:
[0003](— )晃動(dòng):籽晶桿系統(tǒng)長(zhǎng)度較長(zhǎng)且直徑又較小，輕微的震動(dòng)容易引起籽晶桿桿的晃動(dòng)，從而造成晶體的晃動(dòng)。因籽晶桿系統(tǒng)末端無(wú)阻尼，晃動(dòng)發(fā)生后維持時(shí)間長(zhǎng)，影響晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)，對(duì)晶體生長(zhǎng)質(zhì)量極為不利。隨著晶體重量的逐漸增加，輕微的晃動(dòng)甚至?xí)斐勺丫嗔?，造成?yán)重?fù)p失。
[0004](二)籽晶桿下端點(diǎn)畫(huà)圈:在籽晶桿系統(tǒng)中，有籽晶桿系統(tǒng)的物理軸線、稱(chēng)重頭到坩禍中心的連線(簡(jiǎn)稱(chēng)坩禍中心線)，晶體生產(chǎn)全程中，兩線應(yīng)盡可能重合并與地心引力線平行。由于籽晶桿系統(tǒng)是多段材料連接組成，加工、裝配、調(diào)試等技術(shù)原因，各段軸線會(huì)存在同軸度誤差，各段軸線的連線還會(huì)發(fā)生彎曲，與地心引力線形成很大的夾角，從裝爐到晶體生長(zhǎng)全程，籽晶桿系統(tǒng)溫度變化幅度大，熱脹冷縮還會(huì)發(fā)生形變;籽晶桿系統(tǒng)在稱(chēng)重室旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的震動(dòng)會(huì)傳遞給籽晶桿系統(tǒng);生長(zhǎng)過(guò)程中的晶體重心不會(huì)完全與生長(zhǎng)中心線重合?；谝陨蠋讉€(gè)因素，生長(zhǎng)過(guò)程籽晶桿系統(tǒng)下端點(diǎn)很容易偏離坩禍中心線，發(fā)生畫(huà)圈的現(xiàn)象，影響晶體結(jié)晶質(zhì)量，不利與晶體的正常生長(zhǎng)。
[0005]由于上稱(chēng)重提拉法晶體生長(zhǎng)爐中，籽晶桿系統(tǒng)是重量數(shù)據(jù)傳導(dǎo)組件，需要精確傳遞晶體的重量，不能簡(jiǎn)單地兩端穩(wěn)固來(lái)消除晃動(dòng)和畫(huà)圈。而且采用嚴(yán)格的維護(hù)保養(yǎng)技術(shù)指標(biāo)和保養(yǎng)頻度，也難以克服籽晶桿晃動(dòng)和籽晶桿下端點(diǎn)畫(huà)圈引起的晶體生長(zhǎng)品質(zhì)差和過(guò)程中斷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了解決以上技術(shù)內(nèi)容，本實(shí)用新型提供一種晶體生長(zhǎng)爐籽晶桿系統(tǒng)的多點(diǎn)可活動(dòng)連接與穩(wěn)固裝置，解決籽晶桿系統(tǒng)的晃動(dòng)和籽晶桿下端點(diǎn)畫(huà)圈的技術(shù)問(wèn)題，且保證籽晶桿系統(tǒng)能精確傳遞晶體的重量。
[0007]解決以上技術(shù)問(wèn)題的本實(shí)用新型中的一種晶體生長(zhǎng)爐籽晶桿系統(tǒng)的多點(diǎn)可活動(dòng)連接與穩(wěn)固裝置，包括晶體生長(zhǎng)爐的稱(chēng)重頭、滑塊和籽晶桿，其特征在于:所述裝置包括活動(dòng)球頭結(jié)構(gòu)、支撐盤(pán)結(jié)構(gòu)和連接結(jié)構(gòu)，活動(dòng)球頭結(jié)構(gòu)位于籽晶桿上端，將稱(chēng)重頭和籽晶桿連接;支撐盤(pán)結(jié)構(gòu)設(shè)于滑塊內(nèi)，位于籽晶桿中下端;連接結(jié)構(gòu)位于籽晶桿下端，設(shè)有籽晶桿接頭和提拉桿接頭，籽晶桿接頭安裝在籽晶桿上，籽晶桿接頭下端與提拉桿接頭相連接。
[0008]所述支撐盤(pán)由靜止座和活動(dòng)盤(pán)組成，靜止座固定安裝在滑塊內(nèi)，活動(dòng)盤(pán)安裝在靜止座上，所述活動(dòng)盤(pán)設(shè)有定盤(pán)和動(dòng)盤(pán)，動(dòng)盤(pán)安裝在籽晶桿上，定盤(pán)安裝在靜止座上，動(dòng)盤(pán)在定盤(pán)內(nèi)旋轉(zhuǎn)。動(dòng)盤(pán)在靜止座約束的范圍內(nèi)在一定摩擦阻尼下旋轉(zhuǎn)和位移。
[0009 ]所述定盤(pán)設(shè)有凹槽，動(dòng)盤(pán)在定盤(pán)的凹槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
[0010]所述活動(dòng)球頭結(jié)構(gòu)設(shè)有球面連接上接頭、球面連接頭、球面連接球體和螺釘，球面連接上接頭與球面連接頭上端固定連接，球面連接頭中為中空，球面連接球體位于球面連接頭中，螺釘穿過(guò)球面連接頭固定在球面連接球體上，將球面連接頭與球面連接球體固定連接，球面連接上接頭連接稱(chēng)重頭，球面連接球體連接籽晶桿。
[0011 ]球面連接球體與球面連接上接頭之間可以有一空隙，球面連接球體在球面連接頭中有一定的活動(dòng)，便于連接籽晶桿。
[0012]所述螺釘穿過(guò)球面連接頭側(cè)面固定在球面連接球體上。
[0013]所述提拉桿接頭設(shè)于爐膛頂部中。
[0014]在籽晶桿系統(tǒng)晃動(dòng)時(shí)給籽晶桿一個(gè)外力，晃動(dòng)隨即消除。本實(shí)用新型在籽晶桿系統(tǒng)的某一段加裝一支撐點(diǎn)，即支撐盤(pán)，支撐點(diǎn)作用是在籽晶桿系統(tǒng)中增加晃動(dòng)阻尼和穩(wěn)定性。再使稱(chēng)重頭與籽晶桿連接由固定連接改為活動(dòng)球頭連接。在籽晶桿下端點(diǎn)畫(huà)圈時(shí)，重力作用下，通過(guò)活動(dòng)球頭可活動(dòng)性，籽晶桿上端的活動(dòng)球頭連接與籽晶桿下端點(diǎn)的連線，會(huì)自然與坩禍中心線重合，消除了籽晶桿下端點(diǎn)畫(huà)圈現(xiàn)象。提拉桿接頭和籽晶桿接頭的作用是連接的作用。
[0015]本實(shí)用新型在上稱(chēng)重提拉法晶體生長(zhǎng)爐上使用后，籽晶桿晃動(dòng)和籽晶桿下端點(diǎn)畫(huà)圈得到了明顯的改善和消除，保障了晶體生長(zhǎng)的正常進(jìn)行，且減輕了維護(hù)強(qiáng)度，大大降低了生長(zhǎng)成本。
[0016]說(shuō)明書(shū)附圖
[0017]圖1為本實(shí)用新型中裝置結(jié)構(gòu)剖面示意圖
[0018]圖2為本實(shí)用新型中活動(dòng)球頭結(jié)構(gòu)的剖面示意圖
[0019]圖3為本實(shí)用新型中支撐結(jié)構(gòu)的剖面示意圖
[0020]圖4為圖3中活動(dòng)盤(pán)放大示意圖
[0021]圖5為本實(shí)用新型中連接結(jié)構(gòu)的剖面示意圖
[0022]其中，圖中標(biāo)識(shí)具體為:
[0023]1.稱(chēng)重頭，2.滑塊，3.籽晶桿(3-1籽晶桿上端，3-2籽晶桿中下端，3-3籽晶桿下端)，4.活動(dòng)球頭結(jié)構(gòu)，5.支撐盤(pán)結(jié)構(gòu)，6.連接結(jié)構(gòu)，7.籽晶桿接頭，8.提拉桿接頭，9.靜止座，10.活動(dòng)盤(pán)，11.定盤(pán)，12.動(dòng)盤(pán)，13.凹槽，14.球面連接上接頭，15.球面連接頭(15_1球面連接頭側(cè)面)，16.球面連接球體，17.螺釘，18.爐膛(18-1爐膛頂部)，19.波紋管，20.波紋管上接頭，21.卡箍，22.稱(chēng)重室
【具體實(shí)施方式】
[0024]本說(shuō)明書(shū)中公開(kāi)的所有特征，或公開(kāi)的所有方法或過(guò)程中的步驟，除了互相排斥的特征和/或步驟以外，均可以以任何方式組合。
[0025]本實(shí)用新型改裝后的結(jié)構(gòu)如圖1所示:在籽晶桿中下端加裝一個(gè)活動(dòng)支撐盤(pán)結(jié)構(gòu)，活動(dòng)支撐盤(pán)由靜止座和活動(dòng)盤(pán)，兩部分組成。靜止座固定安裝在滑塊內(nèi)，活動(dòng)盤(pán)安裝在靜止座上，活動(dòng)盤(pán)可以在靜止座約束的一定范圍內(nèi)在一定摩擦阻尼下旋轉(zhuǎn)和位移。當(dāng)籽晶桿系統(tǒng)發(fā)生晃動(dòng)時(shí)，增加晃動(dòng)阻尼和穩(wěn)定性。稱(chēng)重頭與籽晶桿連接由