1.一種薄膜厚度測(cè)量裝置,包括支撐底板(1),其特征在于:所述支撐底板(1)頂部固定設(shè)有兩個(gè)u型架(3),兩個(gè)所述u型架(3)之間固定設(shè)有頂板(4),所述頂板(4)底部設(shè)有多功能測(cè)量機(jī)構(gòu),所述支撐底板(1)頂部設(shè)有承載組件;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:所述內(nèi)壓板(22)頂部設(shè)有限位單元,所述限位單元包括第三電動(dòng)推桿(48),所述第三電動(dòng)推桿(48)固定設(shè)于內(nèi)壓板(22)頂部,所述第三電動(dòng)推桿(48)輸出端固定連接有伸縮桿(49),所述伸縮桿(49)外部固定套設(shè)有彈簧(50),所述伸縮桿(49)一端固定連接有限位柱(51),所述連接環(huán)(27)側(cè)邊開(kāi)設(shè)有限位槽,所述限位柱(51)延伸入限位槽內(nèi)部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:所述滑塊(33)在滑軌(19)內(nèi)部滑動(dòng),所述滑塊(33)頂部和底部均通過(guò)軸承連接有兩個(gè)第一滑軸(46),所述第一滑軸(46)與滑軌(19)相接觸,所述滑塊(33)兩側(cè)邊通過(guò)軸承連接有兩個(gè)第二滑軸(47),所述第二滑軸(47)與滑軌(19)相接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:所述承載組件包括承載殼(8),所述承載殼(8)固定設(shè)于支撐底板(1)頂部,所述承載殼(8)底部固定設(shè)有連接筒(15),所述連接筒(15)貫穿支撐底板(1),所述支撐底板(1)底部固定設(shè)有真空泵(14),所述真空泵(14)輸出端與連接筒(15)相接通,所述承載殼(8)頂部固定設(shè)有承載框板(20),所述承載框板(20)頂部分別開(kāi)設(shè)有第一凹槽(30)、開(kāi)槽(31)和第二凹槽(32),所述第一凹槽(30)與第一壓條(41)相接觸,所述第二凹槽(32)與第二壓條(42)相接觸,所述切割刀(40)延伸入開(kāi)槽(31)內(nèi)部,所述承載框板(20)內(nèi)部固定連接有多個(gè)圓桿(29),多個(gè)所述圓桿(29)一端固定連接有承載板(26),所述承載板(26)外側(cè)開(kāi)設(shè)有多個(gè)泄氣槽(28)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:所述頂板(4)頂部固定設(shè)有兩個(gè)第一電動(dòng)推桿(5),兩個(gè)所述第一電動(dòng)推桿(5)輸出端均固定連接有耳板(6),所述耳板(6)與罩殼(7)固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:所述支撐底板(1)底部四角均固定連接有支撐柱(2)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:兩個(gè)所述u型架(3)一側(cè)均固定設(shè)有放置架(9),兩個(gè)所述放置架(9)頂部設(shè)有放卷輥(10),兩個(gè)所述u型架(3)另一側(cè)安裝有收卷輥(11)。
8.一種薄膜厚度測(cè)量方法,基于權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:具體步驟如下: