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一種薄膜厚度測(cè)量裝置及方法與流程

文檔序號(hào):39526780發(fā)布日期:2024-09-27 17:03閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種薄膜厚度測(cè)量裝置,包括支撐底板(1),其特征在于:所述支撐底板(1)頂部固定設(shè)有兩個(gè)u型架(3),兩個(gè)所述u型架(3)之間固定設(shè)有頂板(4),所述頂板(4)底部設(shè)有多功能測(cè)量機(jī)構(gòu),所述支撐底板(1)頂部設(shè)有承載組件;

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:所述內(nèi)壓板(22)頂部設(shè)有限位單元,所述限位單元包括第三電動(dòng)推桿(48),所述第三電動(dòng)推桿(48)固定設(shè)于內(nèi)壓板(22)頂部,所述第三電動(dòng)推桿(48)輸出端固定連接有伸縮桿(49),所述伸縮桿(49)外部固定套設(shè)有彈簧(50),所述伸縮桿(49)一端固定連接有限位柱(51),所述連接環(huán)(27)側(cè)邊開(kāi)設(shè)有限位槽,所述限位柱(51)延伸入限位槽內(nèi)部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:所述滑塊(33)在滑軌(19)內(nèi)部滑動(dòng),所述滑塊(33)頂部和底部均通過(guò)軸承連接有兩個(gè)第一滑軸(46),所述第一滑軸(46)與滑軌(19)相接觸,所述滑塊(33)兩側(cè)邊通過(guò)軸承連接有兩個(gè)第二滑軸(47),所述第二滑軸(47)與滑軌(19)相接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:所述承載組件包括承載殼(8),所述承載殼(8)固定設(shè)于支撐底板(1)頂部,所述承載殼(8)底部固定設(shè)有連接筒(15),所述連接筒(15)貫穿支撐底板(1),所述支撐底板(1)底部固定設(shè)有真空泵(14),所述真空泵(14)輸出端與連接筒(15)相接通,所述承載殼(8)頂部固定設(shè)有承載框板(20),所述承載框板(20)頂部分別開(kāi)設(shè)有第一凹槽(30)、開(kāi)槽(31)和第二凹槽(32),所述第一凹槽(30)與第一壓條(41)相接觸,所述第二凹槽(32)與第二壓條(42)相接觸,所述切割刀(40)延伸入開(kāi)槽(31)內(nèi)部,所述承載框板(20)內(nèi)部固定連接有多個(gè)圓桿(29),多個(gè)所述圓桿(29)一端固定連接有承載板(26),所述承載板(26)外側(cè)開(kāi)設(shè)有多個(gè)泄氣槽(28)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:所述頂板(4)頂部固定設(shè)有兩個(gè)第一電動(dòng)推桿(5),兩個(gè)所述第一電動(dòng)推桿(5)輸出端均固定連接有耳板(6),所述耳板(6)與罩殼(7)固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:所述支撐底板(1)底部四角均固定連接有支撐柱(2)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:兩個(gè)所述u型架(3)一側(cè)均固定設(shè)有放置架(9),兩個(gè)所述放置架(9)頂部設(shè)有放卷輥(10),兩個(gè)所述u型架(3)另一側(cè)安裝有收卷輥(11)。

8.一種薄膜厚度測(cè)量方法,基于權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的一種薄膜厚度測(cè)量裝置,其特征在于:具體步驟如下:


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種薄膜厚度測(cè)量裝置及方法,涉及薄膜厚度測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域,其技術(shù)方案是:包括支撐底板,支撐底板頂部固定設(shè)有兩個(gè)U型架,兩個(gè)U型架之間固定設(shè)有頂板,頂板底部設(shè)有多功能測(cè)量機(jī)構(gòu),支撐底板頂部設(shè)有承載組件;多功能測(cè)量機(jī)構(gòu)包括罩殼,罩殼設(shè)于頂板底部,罩殼頂部固定設(shè)有第二電動(dòng)推桿,第二電動(dòng)推桿輸出端固定連接有連接框架,連接框架內(nèi)部固定設(shè)有第一電機(jī),第一電機(jī)輸出端固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿,轉(zhuǎn)動(dòng)桿底部固定設(shè)有頂部安裝板,發(fā)明有益效果是:方便薄膜取樣,保持薄膜的平整性,方便測(cè)量,調(diào)節(jié)測(cè)量位置,多區(qū)域測(cè)量,使測(cè)量數(shù)據(jù)樣本增加,方便薄膜厚度計(jì)算,提高了測(cè)量的可靠性和準(zhǔn)確性,測(cè)量速度快,提高了工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員:劉偉,劉華林,黃小衛(wèi),王菲
受保護(hù)的技術(shù)使用者:繁楓新能源(上海)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/9/26
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