1.一種運動平臺,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的運動平臺,其特征在于,所述第一球鉸氣浮組件(14)還包括設于所述第一支架(12)的第一球鉸塊(142)、設于所述第一球鉸塊(142)的第一鉸球(143)、安裝于所述第一氣浮塊(141)的第一氣接頭(144);所述第一氣浮塊(141)具有第一球鉸槽(145)和多個第一氣孔,所述第一氣浮塊(141)通過所述第一球鉸槽(145)與所述第一鉸球(143)鉸接,各所述第一氣孔均具有與所述第一氣接頭(144)連通的第一進氣口和朝向所述導軌(111)的第一出氣口(148);
3.根據權利要求1所述的運動平臺,其特征在于,所述載臺(21)具有沿第二直線方向滑設于所述第一支架(12)的第一滑動部(2110)和沿第三直線方向滑設于所述第二支架(13)的第二滑動部(2111);所述第一支架(12)設有第一滑塊(22)且所述載臺(21)的所述第一滑動部(2110)設有第一滑軌(23)或所述第一支架(12)設有第一滑軌(23)且所述載臺(21)的所述第一滑動部(2110)設有第一滑塊(22),所述載臺(21)的所述第一滑動部(2110)通過所述第一滑軌(23)與所述第一滑塊(22)的配合滑設于所述第一支架(12);
4.根據權利要求1所述的運動平臺,其特征在于,還包括第一壓電促動器組件(26)和第二壓電促動器組件(27);所述載臺(21)包括支撐座(211)和載物座(212);所述載物座(212)具有第一連接部(2121)和第二連接部(2122),所述第一壓電促動器組件(26)連接所述支撐座(211)和所述載物座(212)的所述第一連接部(2121)且所述第二壓電促動器組件(27)連接所述支撐座(211)和所述載物座(212)的所述第二連接部(2122)以驅動所述載物座(212)相對所述支撐座(211)轉動。
5.根據權利要求4所述的運動平臺,其特征在于,所述載臺(21)上設有多個讓位槽(213),多個所述讓位槽(213)將所述載臺(21)分割成所述支撐座(211)和所述載物座(212),多個所述讓位槽(213)沿著所述載物座(212)的周向間隔布設,相鄰的所述讓位槽(213)之間形成柔性連接部(214),所述支撐座(211)通過所述柔性連接部(214)與所述載物座(212)連接。
6.根據權利要求5所述的運動平臺,其特征在于,所述第一壓電促動器組件(26)和所述第二壓電促動器組件(27)均包括安裝于所述支撐座(211)的安裝座(261)、安裝于所述安裝座(261)的壓電堆(262)、安裝于所述安裝座(261)并套設于所述壓電堆(262)的殼體(263)、與所述壓電堆(262)連接的推力件(264),以及與所述推力件(264)連接的頂絲(265);所述頂絲(265)與所述載物座(212)連接。
7.根據權利要求6所述的運動平臺,其特征在于,所述第一壓電促動器組件(26)和所述第二壓電促動器組件(27)均有兩個;兩個所述第一壓電促動器組件(26)分布在所述載物座(212)的其中兩側,兩個所述第二壓電促動器組件(27)分布在所述載物座(212)的另外兩側,所述支撐座(211)上設有均用于測量所述載物座(212)的位移的第一傳感器(28)、第二傳感器(29)以及第三傳感器(30)。
8.根據權利要求1至7任一項所述的運動平臺,其特征在于,所述第一驅動機構(18)包括具有動子(181)并設于所述基座(11)的第一直線電機;所述動子(181)與所述第一支架(12)和/或所述第二支架(13)連接,所述基座(11)設有光柵尺(31),所述第一支架(12)或所述第二支架(13)設有與所述光柵尺(31)適配的光柵讀數(shù)頭(32);
9.根據權利要求1至7任一項所述的運動平臺,其特征在于,所述基座(11)設有與所述導軌(111)間隔布設的支撐軌(112),所述載臺(21)具有間隔布設的第一支撐部(2112)和第二支撐部(2113),所述第一支撐部(2112)設有用于形成負壓以吸附于所述導軌(111)上的第一吸附孔道(2114)和用于噴射氣體以懸浮于所述導軌(111)上的第一氣浮孔道(2115),所述第二支撐部(2113)設有用于形成負壓以吸附于所述支撐軌(112)上的第二吸附孔道(2116)和用于噴射氣體以懸浮于所述支撐軌(112)上的第二氣浮孔道(2117)。
10.一種加工設備,其特征在于,包括如權利要求1至9任一項所述的運動平臺。