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運動平臺及加工設備的制作方法

文檔序號:39729555發(fā)布日期:2024-10-22 13:34閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種運動平臺,其特征在于,包括:

2.根據權利要求1所述的運動平臺,其特征在于,所述第一球鉸氣浮組件(14)還包括設于所述第一支架(12)的第一球鉸塊(142)、設于所述第一球鉸塊(142)的第一鉸球(143)、安裝于所述第一氣浮塊(141)的第一氣接頭(144);所述第一氣浮塊(141)具有第一球鉸槽(145)和多個第一氣孔,所述第一氣浮塊(141)通過所述第一球鉸槽(145)與所述第一鉸球(143)鉸接,各所述第一氣孔均具有與所述第一氣接頭(144)連通的第一進氣口和朝向所述導軌(111)的第一出氣口(148);

3.根據權利要求1所述的運動平臺,其特征在于,所述載臺(21)具有沿第二直線方向滑設于所述第一支架(12)的第一滑動部(2110)和沿第三直線方向滑設于所述第二支架(13)的第二滑動部(2111);所述第一支架(12)設有第一滑塊(22)且所述載臺(21)的所述第一滑動部(2110)設有第一滑軌(23)或所述第一支架(12)設有第一滑軌(23)且所述載臺(21)的所述第一滑動部(2110)設有第一滑塊(22),所述載臺(21)的所述第一滑動部(2110)通過所述第一滑軌(23)與所述第一滑塊(22)的配合滑設于所述第一支架(12);

4.根據權利要求1所述的運動平臺,其特征在于,還包括第一壓電促動器組件(26)和第二壓電促動器組件(27);所述載臺(21)包括支撐座(211)和載物座(212);所述載物座(212)具有第一連接部(2121)和第二連接部(2122),所述第一壓電促動器組件(26)連接所述支撐座(211)和所述載物座(212)的所述第一連接部(2121)且所述第二壓電促動器組件(27)連接所述支撐座(211)和所述載物座(212)的所述第二連接部(2122)以驅動所述載物座(212)相對所述支撐座(211)轉動。

5.根據權利要求4所述的運動平臺,其特征在于,所述載臺(21)上設有多個讓位槽(213),多個所述讓位槽(213)將所述載臺(21)分割成所述支撐座(211)和所述載物座(212),多個所述讓位槽(213)沿著所述載物座(212)的周向間隔布設,相鄰的所述讓位槽(213)之間形成柔性連接部(214),所述支撐座(211)通過所述柔性連接部(214)與所述載物座(212)連接。

6.根據權利要求5所述的運動平臺,其特征在于,所述第一壓電促動器組件(26)和所述第二壓電促動器組件(27)均包括安裝于所述支撐座(211)的安裝座(261)、安裝于所述安裝座(261)的壓電堆(262)、安裝于所述安裝座(261)并套設于所述壓電堆(262)的殼體(263)、與所述壓電堆(262)連接的推力件(264),以及與所述推力件(264)連接的頂絲(265);所述頂絲(265)與所述載物座(212)連接。

7.根據權利要求6所述的運動平臺,其特征在于,所述第一壓電促動器組件(26)和所述第二壓電促動器組件(27)均有兩個;兩個所述第一壓電促動器組件(26)分布在所述載物座(212)的其中兩側,兩個所述第二壓電促動器組件(27)分布在所述載物座(212)的另外兩側,所述支撐座(211)上設有均用于測量所述載物座(212)的位移的第一傳感器(28)、第二傳感器(29)以及第三傳感器(30)。

8.根據權利要求1至7任一項所述的運動平臺,其特征在于,所述第一驅動機構(18)包括具有動子(181)并設于所述基座(11)的第一直線電機;所述動子(181)與所述第一支架(12)和/或所述第二支架(13)連接,所述基座(11)設有光柵尺(31),所述第一支架(12)或所述第二支架(13)設有與所述光柵尺(31)適配的光柵讀數(shù)頭(32);

9.根據權利要求1至7任一項所述的運動平臺,其特征在于,所述基座(11)設有與所述導軌(111)間隔布設的支撐軌(112),所述載臺(21)具有間隔布設的第一支撐部(2112)和第二支撐部(2113),所述第一支撐部(2112)設有用于形成負壓以吸附于所述導軌(111)上的第一吸附孔道(2114)和用于噴射氣體以懸浮于所述導軌(111)上的第一氣浮孔道(2115),所述第二支撐部(2113)設有用于形成負壓以吸附于所述支撐軌(112)上的第二吸附孔道(2116)和用于噴射氣體以懸浮于所述支撐軌(112)上的第二氣浮孔道(2117)。

10.一種加工設備,其特征在于,包括如權利要求1至9任一項所述的運動平臺。


技術總結
本發(fā)明公開一種運動平臺及加工設備,其中,運動平臺包括設有導軌的基座、第一支架、第一球鉸氣浮組件、第二球鉸氣浮組件、第一活塞氣浮組件、第二活塞氣浮組件、第二支架、第一驅動機構、第二驅動機構、第三驅動機構、載臺。第一球鉸氣浮組件包括第一氣浮塊,第一活塞氣浮組件包括第二氣浮塊,第二球鉸氣浮組件包括第三氣浮塊,第二活塞氣浮組件包括第四氣浮塊,第一驅動機構與第一支架和/或第二支架傳動連接,載臺滑設于第一支架和第二支架,第一氣浮塊和第三氣浮塊設置于導軌的一側,第二氣浮塊和第四氣浮塊設置于導軌的另一側。本發(fā)明的運動平臺及加工設備可以提高載臺運動精度,提高了半導體的加工精度和質量。

技術研發(fā)人員:于久寶,陳高強,陳萬群,江敏,王正根
受保護的技術使用者:邁為技術(珠海)有限公司
技術研發(fā)日:
技術公布日:2024/10/21
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