太陽能硅片的淋浴式濕法制絨設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及光伏行業(yè),尤其涉及一種太陽能硅片的淋浴式濕法制絨設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在光伏行業(yè)中,硅片的濕法制絨處理一般采用將硅片浸泡于腐蝕性液體中進(jìn)行表面處理,因反應(yīng)區(qū)內(nèi)的腐蝕性液體量很大,參與反應(yīng)的腐蝕液以及反應(yīng)后的生成物和未參與反應(yīng)的腐蝕液摻雜在一起,造成反應(yīng)槽內(nèi)的藥液濃度出現(xiàn)區(qū)域性濃度不一致,這將導(dǎo)致硅片表面處理的均勻性大大降低,對(duì)生產(chǎn)加工出來的硅片質(zhì)量影響非常大。
[0003]因此,如何提供一種有效提高硅片表面處理質(zhì)量的太陽能硅片的淋浴式濕法制絨設(shè)備是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型針對(duì)上述問題提供了一種有效提高硅片表面處理質(zhì)量的太陽能硅片的淋浴式濕法制絨設(shè)備。
[0005]本實(shí)用新型提出的技術(shù)方案是,設(shè)計(jì)太陽能硅片的淋浴式濕法制絨設(shè)備,包括:運(yùn)送組件,包括縱向均勻排列的滾筒、驅(qū)動(dòng)滾筒的電動(dòng)元件,運(yùn)送組件用于向前運(yùn)送硅片。噴淋組件,包括位于滾筒上方、縱向間隔設(shè)置的噴淋盒,噴淋盒底面均勻設(shè)有漏液孔。供液組件,包括設(shè)于運(yùn)送組件下方的接液槽,位于接液槽下方并與接液槽連通的副槽,與所述副槽和噴淋組件連接的循環(huán)管道,以及位于副槽出口與循環(huán)管道連接的循環(huán)泵。
[0006]較優(yōu)的,循環(huán)泵的出口設(shè)有兩路管道,第一路管道接入噴淋盒內(nèi),第二路管道接回副槽內(nèi)。
[0007]較優(yōu)的,噴淋盒的進(jìn)口處設(shè)有流量閥,第一路管道經(jīng)過流量閥再接入噴淋盒,循環(huán)泵連接有變頻器,通過變頻器控制循環(huán)泵的轉(zhuǎn)速。
[0008]較優(yōu)的,噴淋盒的漏液孔呈錐形,漏液孔的孔徑由上至下逐漸加大;或者,噴淋盒的漏液孔呈直筒形,直筒的底面設(shè)有一圈錐形凹環(huán),該錐形凹環(huán)的孔徑由直筒孔向下逐漸加大。
[0009]進(jìn)一步的,該設(shè)備還包括補(bǔ)液系統(tǒng),補(bǔ)液系統(tǒng)內(nèi)設(shè)有:位于運(yùn)送組件的上料口的計(jì)數(shù)傳感器、與計(jì)數(shù)傳感器連接的控制器、以及與控制器連接的補(bǔ)液裝置,計(jì)數(shù)傳感器對(duì)硅片計(jì)數(shù),達(dá)到設(shè)定數(shù)量后發(fā)送信號(hào)給控制器,控制器控制補(bǔ)液裝置向副槽內(nèi)補(bǔ)充新藥液。
[0010]補(bǔ)液系統(tǒng)包括:設(shè)于副槽上方的補(bǔ)液罐,聯(lián)通該補(bǔ)液罐底部的帶有進(jìn)液控制的輸液管道,所述補(bǔ)液罐的底部還聯(lián)通一補(bǔ)液管,該補(bǔ)液管中并接有粗補(bǔ)閥和精補(bǔ)閥,補(bǔ)液罐的頂部設(shè)有一用于補(bǔ)液罐液位檢測(cè)的超聲波液位儀,該超聲波液位儀與控制器連接。
[0011]在一實(shí)施例中,副槽內(nèi)頂部設(shè)有一用于副槽內(nèi)液位檢測(cè)的液位檢測(cè)器,該液位檢測(cè)器與控制器連接。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型淋浴的方式將藥液噴灑或滴到硅片上,硅片反應(yīng)后的生成物及未參與反應(yīng)的藥液可隨著多余的藥液迅速流道接液槽,避免了傳統(tǒng)浸泡反應(yīng)方式中硅片周圍藥液濃度不均勻的情況,有效保證單片硅片表面的腐蝕均勻性和多片硅片之間的腐蝕均勻性,大大提高了硅片的生產(chǎn)質(zhì)量及降低生產(chǎn)不良率。更優(yōu)的,為了節(jié)約材料,聚合在接液槽內(nèi)的剩余藥液還可以抽回噴液盒循環(huán)使用,使藥液被充分利用,進(jìn)一步的,還可以設(shè)置補(bǔ)液系統(tǒng),藥液在一段時(shí)間的循環(huán)后,濃度會(huì)出現(xiàn)偏差,補(bǔ)液系統(tǒng)可以在藥液濃度出現(xiàn)偏差后,向接液槽補(bǔ)充新的藥液,以平衡藥液濃度,提高生產(chǎn)自動(dòng)化程度。
【附圖說明】
[0013]下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明,其中:
[0014]圖1是本實(shí)用新型的設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015]圖2是本實(shí)用新型的補(bǔ)液系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]在太陽能硅片的濕法制絨處理中,一般將硅片浸泡于腐蝕性液體中進(jìn)行表面處理,參與反應(yīng)的腐蝕液以及反應(yīng)后的生成物和未參與反應(yīng)的腐蝕液摻雜在一起,造成反應(yīng)槽內(nèi)的藥液濃度出現(xiàn)區(qū)域性濃度不一致,影響硅片的生產(chǎn)質(zhì)量,本實(shí)用新型采用淋浴的方式將腐蝕液噴灑或滴到硅片上,多余藥液及反應(yīng)生成物能及時(shí)流回副槽,避免硅片上的藥液濃度不均勻的問題。
[0017]本實(shí)用新型提出的太陽能硅片的淋浴式濕法制絨設(shè)備,包括:運(yùn)送組件、噴淋組件及供液組件。
[0018]運(yùn)送組件包括縱向均勻排列的滾筒2、驅(qū)動(dòng)滾筒2的電動(dòng)元件,運(yùn)送組件用于向前運(yùn)送硅片3。噴淋組件包括位于滾筒2上方、縱向間隔設(shè)置的噴淋盒4,噴淋盒4底面均勻設(shè)有漏液孔。供液組件包括接液槽1、副槽7、循環(huán)管道5及循環(huán)泵6,接液槽I開口朝上設(shè)于運(yùn)送組件的下方,用于接收運(yùn)送組件上流下的藥液,副槽7位于接液槽I下方并與接液槽I連通,接液槽I接收的藥液流向副槽7匯集,循環(huán)管道5連接在副槽7和噴淋組件之間,循環(huán)管道5的進(jìn)口連接在副槽7上,出口分為多個(gè)并聯(lián)的管道分別接入各個(gè)噴淋盒4,循環(huán)泵6位于副槽7的出口,循環(huán)泵6連接在循環(huán)管道5上,用于將副槽內(nèi)的藥液抽送至噴淋盒4內(nèi)。
[0019]副槽7與接液槽I之間通過多條連接管接通,接液槽I內(nèi)的液體從連接管中進(jìn)入副槽7,設(shè)置多條連接管的作用是讓接液槽I內(nèi)的液體能較快的進(jìn)入副槽7。副槽7底部還設(shè)有排污孔,便于定期清理副槽7。由于流回副槽7的腐蝕液再次參與硅片腐蝕需要較長的時(shí)間,參與反應(yīng)的腐蝕液以及反應(yīng)后的生成物和未參與反應(yīng)的腐蝕液在副槽7混溶得更好。
[0020]循環(huán)泵6的出口設(shè)有兩路管道,第一路管道接入噴淋盒4內(nèi),第二路管道接回副槽7內(nèi),接回副槽7的目的是利用液體的沖擊力對(duì)副槽7內(nèi)的藥液進(jìn)行攪拌,使藥液混合的更均勻。在副槽7和循環(huán)泵6的共同作用下,藥液充分混勻,這就使得每次參與化學(xué)反應(yīng)的循環(huán)藥液濃度接近一致,保證硅片3反應(yīng)質(zhì)量。
[0021]噴淋盒4的進(jìn)口處設(shè)有流量閥8,第一路管道經(jīng)過流量閥8再接入噴淋盒4,循環(huán)泵6連接有變頻器,通過變頻器控制循環(huán)泵6的轉(zhuǎn)速。由于噴淋盒4設(shè)置有多個(gè),噴淋盒4內(nèi)的液位高度可決定藥液滴下的快慢速度,在噴淋盒4的進(jìn)口設(shè)置流量閥8可保證每個(gè)噴淋盒4內(nèi)的液位高度一致,變頻器根據(jù)流量閥8的開度控制循環(huán)泵6抽液速度,